用于晶圓糾偏的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。高精度，重復(fù)定位精度±3角秒，軸向跳動(dòng)與徑向跳動(dòng)均為5μm。這種弧形設(shè)計(jì)，模塊化與靈活性高，可以通過(guò)拼接多個(gè)扇段來(lái)實(shí)現(xiàn)不同的運(yùn)動(dòng)范圍；采用無(wú)鐵芯設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕且厚度薄，總重量?jī)H為5.19kg。