用在半導(dǎo)體設(shè)備的高速運行直線模組。高速度、高加速度,單電機最大加速度1.6g;體積小,結(jié)構(gòu)緊湊;雙電機驅(qū)動,2倍推力,能夠滿足高頻往復(fù)運動工況,提高加工效率。